掃描探針顯微鏡SPM（原子力顯微鏡，白光干涉測厚儀，光學表面分析儀，輪廓儀，臺階儀，其它，硬度計，形態(tài)分析儀，半導體專用檢測儀器設備，渦流探傷儀，附著力測試儀，摩擦磨損試驗機，疲勞試驗機，扭轉(zhuǎn)試驗機、彎曲試驗機，萬能試驗機，納米壓痕儀、劃痕儀，激光共聚焦顯微鏡，二次離子質(zhì)譜，激光拉曼光譜(RAMAN)