
上海載德半導體技術(shù)有限公司是專業(yè)的半導體及微電子領(lǐng)域儀器設(shè)備供應商,上海載德所代理的儀器設(shè)備廣泛用于高校、研究所、半導體高新企業(yè)。
上海載德半導體技術(shù)有限公司目前代理的主要產(chǎn)品包括:
- 霍爾效應測試儀(Hall Effect Measurement System);
- 快速退火爐(RTP);
- 回流焊爐,真空燒結(jié)爐(Reflow Solder System);
- 探針臺(Probe Station),低溫探針臺(Cryogenic Probe Station);
- 貼片機(Die Bonder),劃片機(Scriber),球焊機/鍥焊機(Wire Bonder);
- 原子層沉積系統(tǒng)(ALD),等離子增強原子層沉積設(shè)備(PEALD);
- 磁控濺射鍍膜機(Sputter),電子束蒸發(fā)鍍膜機(E-beam Evaporator),熱蒸發(fā)鍍膜機(Thermal Evaporator),脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD) ;
- 低壓化學氣相沉積系統(tǒng)(LPCVD),等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)(PECVD),快速熱化學氣相沉積系統(tǒng)(RTCVD);
- 反應離子刻蝕機(RIE),ICP刻蝕機,等離子體刻蝕機;
- 致冷機/低溫恒溫器(Cryostat/Cryocooler);
- 加熱臺、熱板、烤膠臺 (Hot Chuck / Hot Plate);
- 掃描開爾文探針系統(tǒng)(Kelvin Probe),光反射膜厚儀(Reflectometer);
- 高溫超導磁體(HTS Magnet),快速場循環(huán)核磁共振弛豫測試儀(FFC Reflexometer);