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那諾-馬斯特中國(guó)有限公司  

Sputtering/磁控濺射系統(tǒng),PECVD/等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積,PA-MOCVD/等離子輔助MOCVD,ALD/原子層沉積,Thermal Vacuum/熱真空系統(tǒng),TE&EBE/熱蒸發(fā)電子束蒸發(fā)鍍膜,PE&RIE/等離子刻蝕及反應(yīng)離子刻,IBM&IBE/離子銑離子束刻蝕,ICP&DRIE/感應(yīng)耦合等離子及深硅,PLD/脈沖激光沉積系統(tǒng),Ion Beam Sputter/離子束濺射系,Cleaner&Megasonic/兆聲清洗去膠,Cleaner&Ion Beam/離子束清洗系,Cleaner&

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公司介紹
NANO-MASTER INC(那諾-馬斯特股份有限公司)前身是NANO-MASTER USA(那諾-馬斯特美國(guó)),該公司是NANO-MASTER S.A.,France(法國(guó)那諾-馬斯特有限公司)于1992年在美國(guó)所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國(guó)際領(lǐng)先的缺陷檢測(cè)和高速鍍層測(cè)量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管NANO-MASTER,USA(那諾-馬斯特美國(guó))并正式更名。NANO-MASTER(那諾-馬斯特)自2001年開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長(zhǎng)的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。不到十年的時(shí)間內(nèi)NANO-MASTER(那諾-馬斯特)已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國(guó)家的大學(xué)、研發(fā)中心和國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。Birol Kuyel博士作為NANO-MASTER(那諾-馬斯特), Inc.的主席和CEO,其背景涵蓋了寬廣的技術(shù)領(lǐng)域,包含高溫等離子物理、流體學(xué)、Si3N4 薄膜沉積和特性描述、X射線... [詳細(xì)介紹]
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