
NANO-MASTER INC(那諾-馬斯特股份有限公司)前身是NANO-MASTER USA(那諾-馬斯特美國),該公司是NANO-MASTER S.A.,France(法國那諾-馬斯特有限公司)于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際領(lǐng)先的缺陷檢測和高速鍍層測量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管NANO-MASTER,USA(那諾-馬斯特美國)并正式更名。
NANO-MASTER(那諾-馬斯特)自2001年開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。不到十年的時間內(nèi)NANO-MASTER(那諾-馬斯特)已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。
Birol Kuyel博士作為NANO-MASTER(那諾-馬斯特), Inc.的主席和CEO,其背景涵蓋了寬廣的技術(shù)領(lǐng)域,包含高溫等離子物理、流體學(xué)、Si3N4 薄膜沉積和特性描述、X射線源開發(fā)、DUV源開發(fā)、DUV步進(jìn)和掃描光刻設(shè)備開發(fā)、光刻運(yùn)營成本建模(SEMATECH)等,目前擁有9項(xiàng)專利技術(shù),并發(fā)表過大量的學(xué)術(shù)論文。
NANO-MASTER(那諾-馬斯特)聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計(jì)和制造工程師、應(yīng)用工程師、服務(wù)工程師、技術(shù)支持人員,使得公司擁有一流的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。作為薄膜工藝的設(shè)備提供商,我們的目標(biāo)是提供高品質(zhì)的服務(wù)并始終位維持最高水平的集成度。
為更好服務(wù)大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,臺灣和澳門)的業(yè)務(wù), NANO-MASTER(那諾-馬斯特)于2015年4月份在香港正式成立NANO-MASTER CHINA(那諾-馬斯特中國),并在中國大陸設(shè)有專門的服務(wù)辦公室,提供銷售和售后技術(shù)服務(wù)。