NANO-MASTER INC(那諾-馬斯特股份有限公司)前身是NANO-MASTER USA(那諾-馬斯特美國)，該公司是NANO-MASTER S.A.,France(法國那諾-馬斯特有限公司)于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司，是一家國際領(lǐng)先的缺陷檢測和高速鍍層測量的計(jì)量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管NANO-MASTER,USA(那諾-馬斯特美國)并正式更名。NANO-MASTER(那諾-馬斯特)自2001年開始設(shè)計(jì)開發(fā)薄膜應(yīng)用方面的設(shè)備，正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋了半導(dǎo)體、MEMS、光電子學(xué)、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD，用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD，濺射鍍膜(反應(yīng)濺、共濺 、組合濺)，熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)，離子束刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕，原子層沉積，兆聲清洗以及光刻膠剝離等。不到十年的時(shí)間內(nèi)NANO-MASTER(那諾-馬斯特)已經(jīng)發(fā)展成為全球薄膜設(shè)備的供應(yīng)商，已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個(gè)不同國家的大學(xué)、研發(fā)中心和國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。Birol Kuyel博士作為NANO-MASTER(那諾-馬斯特), Inc.的主席和CEO，其背景涵蓋了寬廣的技術(shù)領(lǐng)域，包含高溫等離子物理、流體學(xué)、Si3N4 薄膜沉積和特性描述、X射線... [詳細(xì)介紹]