【儀器網(wǎng) 行業(yè)應(yīng)用】本應(yīng)用摘要證明了NexION 5000多重四極桿ICP-MS能夠獲得卓越的DLs和BECs，包括元素Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Co、Cu和Zn，并可以在ppq水平上準(zhǔn)確定量這些元素。同時(shí)發(fā)現(xiàn)，NM-H2 Plus氫氣發(fā)生器生成的反應(yīng)氣可以達(dá)到半導(dǎo)體應(yīng)用所需的純度水平，而不會(huì)造成任何與實(shí)驗(yàn)室氫氣氣瓶使用相關(guān)的潛在安全危險(xiǎn)。使用此氣體和單個(gè)等離子體模式(冷等離子體)可使每個(gè)樣品的分析時(shí)間低至116秒，從而滿足半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室對(duì)超純水分析的快速響應(yīng)需求。

　　實(shí)驗(yàn)條件

　　樣品制備

　　使用超純水(18.27MΩ.cm-1)制備所有的空白溶液和標(biāo)準(zhǔn)溶液。在超純水中，從濃度為1ppb的中間體儲(chǔ)備液中制備出濃度為5、10、20和40 ppt的標(biāo)準(zhǔn)溶液。從多元素有證儲(chǔ)備液(10 ppm，多元素標(biāo)準(zhǔn)溶液，生產(chǎn)商：珀金埃爾默公司，地址：美國(guó)康涅狄格州謝爾頓)中制備出中間體儲(chǔ)備液。

　　方案

　　按表1所示條件，使用NexION 5000多重四極桿ICP-MS(制造商：珀金埃爾默公司，地址：美國(guó)康涅狄格州謝爾頓)進(jìn)行所有分析。通過(guò)四極桿離子偏轉(zhuǎn)器(Q0)，此多重四極桿ICP-MS能夠控制進(jìn)入離子透鏡系統(tǒng)高真空區(qū)域的質(zhì)量范圍，使整個(gè)系統(tǒng)更加清潔。之后，在第一個(gè)四極桿質(zhì)量分析器(Q1)中對(duì)離子進(jìn)行質(zhì)量分離，只有選定的質(zhì)量數(shù)被允許進(jìn)入通用池(Q2)。這樣，分析物離子和干擾在池內(nèi)發(fā)生受控的反應(yīng)。

　　反應(yīng)副產(chǎn)物在有機(jī)會(huì)發(fā)生反應(yīng)并形成新的干擾之前被排除。之后，在第二個(gè)四極桿質(zhì)量分析器(Q2)中選出分析物質(zhì)量，以供檢測(cè)。使用NM-H2 Plus氫氣發(fā)生器(制造商：珀金埃爾默公司，地址：美國(guó)康涅狄格州謝爾頓)，以滿足輸送速度要求;產(chǎn)出的H2純度為99.9999%，超出ICP-MS應(yīng)用對(duì)H2的純度要求。據(jù)發(fā)現(xiàn)，冷等離子體模式可顯著改善許多分析物的BECs，因此將其用于所有分析。

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