【儀器設(shè)備行業(yè)網(wǎng) 專題推薦】島津儀器：春節(jié)假期，表面分析儀器(SPM、EPMA、XPS)關(guān)開機(jī)指南。詳情請(qǐng)見下文：

　　掃描探針顯微鏡

　　SPM-9700HT關(guān)機(jī)篇

　　1.實(shí)驗(yàn)測試結(jié)束后，請(qǐng)?zhí)Ц咛结?，如Release10步;

　　2.抬高探針后，請(qǐng)取出探針架及樣品，并蓋上環(huán)境艙蓋子;

　　3.蓋上蓋子后，請(qǐng)關(guān)閉SPM online操作軟件;

　　4.閉軟件后，請(qǐng)關(guān)閉電腦及顯示器;

　　5.關(guān)閉電腦后，請(qǐng)關(guān)閉SPM控制箱，即SPM ConTROL UNIT;

　　6.關(guān)閉控制箱后，請(qǐng)關(guān)閉變壓器(220V-100V)，并確認(rèn)氣體(如氮?dú)?分壓閥及總閥關(guān)閉;

　　7.確認(rèn)總電源是否需要關(guān)閉。

　　8.將探針從探針架上取下，分別收納保存。

　　SPM-9700HT開機(jī)篇

　　1.開機(jī)前檢查總的電器開關(guān)、連接是否正常;房間溫濕度是否達(dá)標(biāo);

　　2.開啟總電源;開啟變壓器(220V-100V);

　　3.開啟變壓器后，請(qǐng)開啟主動(dòng)減震臺(tái);

　　4.開啟減震臺(tái)后，請(qǐng)開啟SPM控制箱，即SPM ConTROL UNIT，請(qǐng)確認(rèn)控制箱綠色電源燈亮起;

　　5.開啟控制箱后，請(qǐng)?jiān)诖_認(rèn)控制箱Ready燈亮起(黃色)后，開啟電腦及顯示器;

　　6.開啟電腦后，請(qǐng)開啟SPM online操作軟件;

　　7.請(qǐng)安裝合適的探針，打開光纖燈，調(diào)節(jié)光路，光路粗調(diào)完畢后請(qǐng)關(guān)閉光纖燈;

　　8.選擇需要的模式，進(jìn)行儀器調(diào)試及樣品測試。

　　電子探針顯微分析儀

　　EPMA-1720關(guān)機(jī)篇

　　一、春節(jié)假期，如果儀器能正常供電，可選擇待機(jī)模式(真空運(yùn)轉(zhuǎn)模式)：

　　1. 收拾整理好樣品和工具;標(biāo)樣可留在儀器主腔體內(nèi)保持真空狀態(tài)，試樣可取出放于干燥器皿或電子干燥柜中;

　　2. 計(jì)算機(jī)Observer窗口中，選擇關(guān)閉發(fā)射電流Emission和高壓AccV;菜單System中選擇Standby即可;

　　3. 檢查水、電、氣、門、窗。

　　二、如果假期有可能停電，可選擇關(guān)閉整個(gè)系統(tǒng)(全關(guān)閉模式)：

　　1.工作結(jié)束后收拾規(guī)整樣品、標(biāo)樣和各種工具，注意保存數(shù)據(jù);標(biāo)樣可放置于儀器主腔體內(nèi)。試樣在真空狀態(tài)下若穩(wěn)定性不夠，需取出放置于干燥器皿或電子干燥柜中保存;

　　2.計(jì)算機(jī)Observer窗口中，關(guān)閉Emission發(fā)射電流和高壓AccV;在System菜單中選擇Shut down，待窗口顯示Main switch can be turned OFF后(約10分鐘)可關(guān)閉主機(jī)電源;

　　3.計(jì)算機(jī)Analysis窗口中，選擇關(guān)閉軟件及計(jì)算機(jī);

　　4.關(guān)閉附屬設(shè)備，包括PR氣和循環(huán)冷卻水(在主機(jī)關(guān)閉60分鐘以后操作);

　　5.關(guān)閉主電源。

　　EPMA-1720開機(jī)篇

　　一、從待機(jī)模式開啟：

　　1.請(qǐng)確認(rèn)水、電、氣正常工作;

　　2.在Observe計(jì)算機(jī)下System菜單中選擇Startup system;

　　3.確認(rèn)初始化譜儀和樣品臺(tái);

　　4.真空達(dá)到后，加載高壓AccV和發(fā)射電流Emission;

　　5.待束流穩(wěn)定后，進(jìn)行合軸操作，即可正常工作。

　　二、從全關(guān)閉模式開啟前，請(qǐng)先確認(rèn)一下：

　　檢查電源總開關(guān)、連接是否正常;環(huán)境是否達(dá)到要求。

　　1.查看循環(huán)水水質(zhì)，可在關(guān)機(jī)狀態(tài)下更換循環(huán)水，檢查循環(huán)水設(shè)備的排氣網(wǎng)，有灰塵時(shí)，要注意清理;

　　2.檢查機(jī)械泵油位和油質(zhì)，及時(shí)添加或更換，并檢查機(jī)械泵開關(guān)總是處于打開狀態(tài);

　　3.檢查氣瓶的氣體余量，當(dāng)壓力不足時(shí)及時(shí)更換;

　　4.確認(rèn)空壓機(jī)處于打開狀態(tài)、打開PR氣和循環(huán)水設(shè)備;

　　5.依次打開控制柜電源，給儀器和附件供電;

　　6.主機(jī)開關(guān)打開(Observe計(jì)算機(jī)會(huì)自動(dòng)啟動(dòng));

　　7.打開Analysis計(jì)算機(jī)，并打開控制軟件，聯(lián)機(jī)到EPMA主機(jī);

　　8.計(jì)算機(jī)Observer窗口中，在System菜單中選擇Startup System，自動(dòng)初始化譜儀和樣品臺(tái);

　　9.當(dāng)真空達(dá)到要求后(Operation變?yōu)榫G色)，可加載高壓及電流;

　　10. 待束流穩(wěn)定后，可正常工作。

　　以上針對(duì)EPMA-1720系列，如您使用EPMA-1600系列、EPMA-8050G可參考手冊(cè)，如有疑問請(qǐng)隨時(shí)與島津工程師聯(lián)系。

　　X射線光電子能譜儀

　　XPS關(guān)機(jī)篇

　　一、對(duì)于假期期間可以正常供電的用戶：(強(qiáng)烈建議保持待機(jī)狀態(tài))

　　1.實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，請(qǐng)將已測試樣品傳輸至預(yù)抽室;

　　2.確保預(yù)抽室與主真空室閥門關(guān)閉，將樣品從預(yù)抽室取出;

　　3.取出樣品后，關(guān)閉預(yù)抽室腔門，點(diǎn)擊Pump，抽真空;

　　4.若未配備空壓機(jī)，需檢查氣體(普氮)，確保余氣充足(使防震氣墊正常工作)。

　　二、對(duì)于假期期間可能停電的用戶：(全關(guān)閉狀態(tài))

　　1.實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，請(qǐng)將已測試樣品傳輸至預(yù)抽室;

　　2.確保預(yù)抽室與主真空室閥門關(guān)閉，將樣品從預(yù)抽室取出;

　　3.取出樣品后，關(guān)閉預(yù)抽室腔門;

　　4.關(guān)閉高純氮進(jìn)氣閥，對(duì)沒有空壓機(jī)客戶保持普氮進(jìn)氣閥開啟狀態(tài)(使防震氣墊正常工作);

　　5.關(guān)閉離子槍、UPS與主真空連接閥門及三個(gè)Backing閥門，關(guān)閉分子泵，關(guān)閉真空規(guī)，關(guān)閉粗抽泵;

　　6.關(guān)閉X射線源、X射線高壓、磁透鏡、離子槍、分析器、偏壓控制單元按鈕。關(guān)閉VCU單元的Protected Mains按鈕。

　　7.關(guān)閉儀器背后真空、Motor及處理器控制單元;

　　8.關(guān)閉計(jì)算機(jī)，關(guān)閉儀器空氣開關(guān)(由左至右)，zui后關(guān)閉水冷機(jī)。

　　9.確認(rèn)是否關(guān)閉電源總開關(guān)。

　　以上為針對(duì)Axis Supra的常規(guī)開關(guān)機(jī)注意事項(xiàng)，Axis Ultra、AMICUS系列請(qǐng)參看相關(guān)操作手冊(cè)。

　　XPS開機(jī)篇

　　一、對(duì)于假期期間保持待機(jī)的用戶：

　　1.檢查氣體及循環(huán)水后，儀器可正常開啟;

　　2.檢查高純氮余氣，建議正常測試前對(duì)燈絲、陽極靶進(jìn)行脫氣。

　　二、對(duì)于假期期間關(guān)機(jī)的用戶：

　　先檢查總電源開關(guān)是否正常;環(huán)境是否達(dá)到要求

　　1.開啟總電源;

　　2.檢查氣體及循環(huán)水水質(zhì)，確認(rèn)是否需要更換循壞水;

　　3.開啟循環(huán)水;

　　4.開啟主機(jī)空氣開關(guān)(由右至左，Baking開關(guān)保持關(guān)閉);

　　5.開啟Protected Mains按鈕及關(guān)閉的各控制單元按鈕;

　　6.開啟計(jì)算機(jī)，啟動(dòng)軟件;

　　7.開啟關(guān)閉的三個(gè)Backing閥，渦輪泵預(yù)抽約半小時(shí)后打開真空規(guī);

　　8.確認(rèn)真空后開啟分子泵及關(guān)閉的兩個(gè)連接閥門;

　　9.檢查高純氮余氣，開啟高純氮進(jìn)氣閥;

　　10.建議正常測試前對(duì)燈絲、陽極靶進(jìn)行脫氣。

　　以上為針對(duì)Axis Supra的常規(guī)開關(guān)機(jī)注意事項(xiàng)，Axis Ultra、AMICUS系列請(qǐng)參看相關(guān)操作手冊(cè)。