【儀器儀表網(wǎng) 廠商新聞】近日，北京萊伯泰科儀器股份有限公司憑借其《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》榮獲“2023年度中國檢驗檢測學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎”科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎二等獎。
萊伯泰科此次獲獎的《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng)項目》成功解決了國產(chǎn)儀器在此領(lǐng)域的技術(shù)kong白，有望打破國外技術(shù)的長期壟斷。該項目依托xian進(jìn)的ICP離子源技術(shù)、加強的離子傳輸系統(tǒng)和基于CAN總線的電控系統(tǒng)，實現(xiàn)了儀器的高效穩(wěn)定運行及精準(zhǔn)檢測，滿足了半導(dǎo)體硅片行業(yè)對極低檢出限的嚴(yán)苛要求。
萊伯泰科LabMS 3000電感耦合等離子體質(zhì)譜儀和LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀，其技術(shù)成熟度與產(chǎn)品可靠性已經(jīng)滿足國內(nèi)集成電路制造企業(yè)對28nm以上制程硅片表面金屬離子檢測的需求。
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