【中國儀器儀表網(wǎng) 新品發(fā)布】近日，“日立高新技術(shù)” 發(fā)布高分辨率肖特基場發(fā)射掃描電鏡“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 ，可對(duì)大型重型樣品進(jìn)行納米級(jí)高精度和高效觀察。

　　本系列zui大可觀察樣品重量達(dá)到 5 kg。此外，通過搭載日立高新技術(shù) SEM*1系列中zui大級(jí)別的馬達(dá)臺(tái)，可以對(duì)直徑 300 mm、高度 130 mm 的大型樣品進(jìn)行觀察，從而減少切割樣品等加工工序，實(shí)現(xiàn)高效的觀察工作。并且，新產(chǎn)品在可以進(jìn)行大型重型樣品觀察的同時(shí)，還兼具馬達(dá)臺(tái) 5 軸(左右、前后、上下、傾斜、旋轉(zhuǎn)) 移動(dòng)。此外，通過搭載相機(jī)導(dǎo)航功能，可以將一系列單獨(dú)拍攝的圖像拼接在一起從而觀察樣品全貌，支持觀察大型樣品時(shí)的視野搜索*2，有助于提高操作性。

　　肖特基場發(fā)射掃描電鏡“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 主要特點(diǎn)

　　(1) 大型重型樣品的大范圍觀察

　　通過對(duì)大型重型樣品觀察的馬達(dá)臺(tái)，日立高新技術(shù)的大型SEM實(shí)現(xiàn)了對(duì)直徑300 mm、高130 mm、重量5 kg樣品的觀察。此外，產(chǎn)品既可搭載大型重型樣品又具備5軸移動(dòng)的功能。

　　(2) 使用光學(xué)相機(jī)圖像的進(jìn)行簡單的大范圍移動(dòng)

　　使用光學(xué)相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)可覆蓋整個(gè)馬達(dá)臺(tái)的移動(dòng)范圍，輕松確定樣品位置。此外，光學(xué)相機(jī)圖像也可以隨馬達(dá)臺(tái)而旋轉(zhuǎn)，從而輕松移動(dòng)樣品位置，并在 SEM 圖像中順利觀察到樣品位置。

　　(3) 獲取大量數(shù)據(jù)時(shí)減輕用戶負(fù)擔(dān)

　　配備可選功能“EM Flow Creator”，可視需要組合倍率和馬達(dá)臺(tái)位置等條件設(shè)置、焦距及對(duì)比度等調(diào)整功能，創(chuàng)建一系列觀察菜單。通過執(zhí)行創(chuàng)建的菜單，可進(jìn)行自動(dòng)觀察，有助于減輕用戶的操作負(fù)擔(dān)，并在連續(xù)圖像采集過程中節(jié)省人力。