【儀器網(wǎng) 專題推薦】CrossCourt 是 BLG Vantage 公司 (BLG Productions Ltd & Vantage Software Inc.)開(kāi)發(fā)的一款高分辨 EBSD 分析軟件。CrossCourt 通過(guò)花樣的互相關(guān) (Cross Correlation)分析，測(cè)量晶格畸變和旋轉(zhuǎn)，表征彈性、塑性應(yīng)力和應(yīng)變。

CrossCourt 是一種創(chuàng)新的微觀表征手段。通過(guò)直接比對(duì) EBSD 花樣，獲得高角度分辨率、高精度的 EBSD 分析結(jié)果。相比傳統(tǒng)的 EBSD，其取向精度更高。CrossCourt 還能計(jì)算出完整的彈性、塑性應(yīng)力和應(yīng)變分析結(jié)果以及高精度的位錯(cuò)密度。

高分辨EBSD分析軟件CrossCourt相比傳統(tǒng)EBSD技術(shù)的優(yōu)勢(shì)：

傳統(tǒng)的 EBSD 采用 Hough 變換檢測(cè)衍射帶的位置和方向，再標(biāo)定出晶體取向，取向的精度并不高。而 CrossCourt 通過(guò)直接比對(duì)花樣的相對(duì)位移，做互相關(guān)(Cross Correlation)分析，可以獲得更高精度的取向，甚至比傳統(tǒng) EBSD 高 80 倍。

應(yīng)力和應(yīng)變的分布計(jì)算：

利用 CrossCourt，可以分析應(yīng)力和應(yīng)變的jue對(duì)值，這種結(jié)果是傳統(tǒng)EBSD無(wú)法做到的。完整的應(yīng)力、彈性應(yīng)變、晶格旋轉(zhuǎn)矢量場(chǎng)都可以計(jì)算出來(lái)，下圖中顯示了單晶硅納米壓痕附近的應(yīng)力和應(yīng)變。

應(yīng)力和微觀組織中位錯(cuò)的變化：

利用 CrossCourt，可以計(jì)算分析變形過(guò)程中應(yīng)力和微觀組織中位錯(cuò)的變化，以幫助研究材料的微觀力學(xué)過(guò)程。