【儀器儀表網(wǎng) 新品動(dòng)態(tài)】近日,日立高新技術(shù)公司推出兩款FE-SEM(場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡)“SU8600”和“SU8700。該產(chǎn)品配置自動(dòng)獲取大量數(shù)據(jù)的功能,可用于觀察、測(cè)量和分析樣品細(xì)微結(jié)構(gòu),被廣泛用于半導(dǎo)體、生命科學(xué)和材料研發(fā)等領(lǐng)域。
在細(xì)微結(jié)構(gòu)分析中,SU8600可以實(shí)現(xiàn)低加速電壓觀察,對(duì)高分子等易受電子束照射影響的材料進(jìn)行高分辨觀察。SU8700可配置各種分析附件,適用于從低加速觀察到高束流的EBSD*3分析,支持陶瓷、金屬等不同材料的解析。
FE-SEM SU8600和SU8700場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的產(chǎn)品特點(diǎn):
1.支持自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)
在FE-SEM的觀察和分析中,需要根據(jù)測(cè)量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時(shí)間的長(zhǎng)短取決于用戶的操作熟練度,這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標(biāo)配自動(dòng)調(diào)整功能,可避免人為操作導(dǎo)致的差異。
2.增加獲取信息的種類與數(shù)量
通過(guò)SEM能夠收集到多種信號(hào),且此系列產(chǎn)品zui多可以同時(shí)顯示和存儲(chǔ)6個(gè)檢測(cè)器的信號(hào)。在減少圖像獲取次數(shù)的同時(shí)能夠獲取多種信息。
3.增強(qiáng)信號(hào)檢測(cè)能力
SU8600開發(fā)了多個(gè)新型選配檢測(cè)器,加強(qiáng)了對(duì)凹凸信息、發(fā)光信息的檢測(cè)能力。此外,還提高了背散射電子信號(hào)檢測(cè)的響應(yīng)速度。